多晶硅、单晶硅微波、红外复合专用烘干生产线工艺设备要求：
1、物料特性： 干燥物料名称：多晶硅料。
2、物料形状：1mm-8mm、8mm-50mm、50mm-150mm 三种规格，不规则形状。
3、含水率：硅料表面水分，小颗粒的为经过甩干后的水分。
干燥原理及控制点：
1、采用干燥原理：连续式，微波温控干燥。
2、微波精度控制：≤1％。 温度控制点：多点控温，烘干过程中硅料温度≤120℃。
3、传动系统：PTFE特氟龙高温布，可变频调速。 输送带回程清理：带自动电动毛刷清扫装置。
4、微波泄漏量：≤2mW/cm2，测量方法按GB 5959.6-2008中规定执行。
生产能力：
1、设计生产能力250KG/h，24h连续流水式作业，烘干后需加冷却降温到40℃。
2、设备配置与功能 设计总功率120kw，微波功率90kw，红外功率90kw，循环冷却水流量约14m³/h，排风量3600m³/h。
3、设备长16.75m，宽1.4m，高2.2m。 操作柜与微波电源柜同侧布置，操作柜靠近上料端，从操作台处面对设备，设备为右进左出。
4、设备主体： 设备主体由布料系统、微波抑制器（首尾各一个）、微波腔体、微波发生器、传送装置、排湿冷却系统、下料冷却系统组成。
5、设备机架整体采用304不锈钢材料制作，微波腔体采用316L不锈钢。 微波腔体长9m、宽1.5m、高0.48m。
6、布料系统： 采用料仓加直线筛给料装置结合，料仓容积0.15立方。料仓内壁等与硅料接触的部分，使用高纯PU材质内衬，出口处PU内衬需突出壳体30mm以上，防止物料污染。
7、设备厂家提供合理的上料方式，上料高度与地面距离不超过1100mm，料斗高度根据系统合理设计，布料系统采用下图所示方式：
